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MSE-4200S 电子封装类专用氦质谱检漏仪
岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU,采用专用的分流泵及中间排气系统,实现了卓越的低BG恢复性能和操作性。
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产品信息
主要特点
- 检出灵敏度:10-13-100Pa m3/s (He)
- 保证生产节拍 6sec/c,BG:2.5X 10-10Pa m3/s (干燥氮排气时)
- 卓越的BG恢复性能和操作性
- 大屏幕液晶触摸屏面板,操作简单
- 分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝(内置两根)